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亲眼见证创新！ 4200A-SCS-PK3参数分析仪是一种可以量身定制、全面集成 的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V) 和超快速脉冲式I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪， 4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的软件提供了清楚的、不折不 扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时 可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘 研究过程，快速而又满怀信心。
4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配 置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。
4200A-SCS-PK3参数分析仪
4200A-SCS 仪器和模块
| 型号 | 说明 | 主要测量 | 范围 | 测量分辨率 |
| 4200-SMU | 中等功率源测量单元 | DC I-V 超低频率 C-V 准静态 C-V | ±100 mA, ±210 V | 0.2 mV, 100 fA |
| 4210-SMU | 高功率源测量单元 | ±1 A, ±210 V | 0.2 mV, 100 fA | |
| 4200-PA | 远程前端放大器模块 | 扩展所有 SMU 的电流范围 | 0.2 mV, 10 aA | |
| 1 kHz - 10 MHz | ||||
| 4210-CVU | 电容电压单元 | AC 阻抗 C-V, C-f, C-t | ±30 V 内置DC 偏置装置(60 V 差分) 使用 SMU 扩展直流偏置电压至 | - |
| ±210V | ||||
| 4200A-CVIV | I-V/C-V 多通道 开关模块 | DC I-V 和 C-V 自动切换 | - | - |
| 脉冲式 I-V SegmentARBR® 多电平脉冲 瞬态波形捕获 | ±40 V (80 V p-p), ±800 mA 200 MSa/s 同时测量电流和电压 | |||
| 4225-PMU | 超快速脉冲测量单元 | 2048 个唯YI段 | 75 nA | |
| 20 ns 脉宽仅输出时 | ||||
| 60 ns 脉宽输出同时测流时 | ||||
| 4225-RPM | 远程前段放大器 / 开关模块 | DC I-V、C-V、脉冲式 I-V 间自动切换 | 扩展 4225-PMU 单元的电流范围 | 200 pA |
| 4220-PGU | 高压脉冲发生器单元 | 脉冲式电压源 Segment ARB® 多电平脉冲 | ±40 V (80 Vp-p) 2048 个唯YI段 | - |
| 接地单元 | 内置低噪声接地单元 | - | 三同轴连接 : 2.6 A 接线柱 : 9.5 A | - |
提取或测量参数列表实例
| CMOS 晶体管 | Id-Vg, Id-Vd, Ig-Vg, Vth, Vtlin, Sub-Vt, Rds-on, breakdown, capacitance, QSCV, Low-frequency CV, self-heating reduction and more |
| BJT | Ic-Vc, Vcsat, Gummel plot, capacitance, βF, αF |
| 非易失性存储器 | Vth, endurance test, capacitance |
| 纳米尺寸器件 | Resistance, Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc |
| 分立元器件 | Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, Vfdiode, Vrdiode, capacitance |
| 材料 | Van der Pauw, 4-point collinear resistivity, Hall Effect |
| 光伏器件 | Iforward, Ireverse, HiR, LoR |
| 功率器件 | Pulsed Id-Vg, pulsed Id-Vd, breakdown |
| 可靠性 | NBTI/PBTI, charge pumping, hot carrier injection, V-Ramp, J-Ramp, TDDB |