主要性能指标

4200A-SCS-PK2参数分析仪半导体测试系统I-V 源测量单元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
• 100 fA测量分辨率
• 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
• 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
• 四象限操作
• 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)

• AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
• 1 kHz - 10 MHz 频率范围
• ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
• 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
• 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
• 200 MSa/s，5 ns 采样率
• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
• 瞬态波形捕获模式
• 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

高压脉冲发生器单元(PGU)

• 两个高速脉冲电压源通道
• ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
• 任意波形发生器 Segment ARB®模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
• 在 I-V测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或抬起探针
• 把 C-V测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针远程前端放大器/ 开关模块(RPM)
• 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
• 把 4225-PMU的电流灵敏度扩展到数十皮安
• 降低电缆电容效应

为材料、半导体器件和工艺开发提供最YOU秀的参数分析仪

使用强大的Clarius 软件，可以更加快速的完成I-V, C-V 和脉冲I-V 测试，结果清晰明了

4200A-SCS-PK2参数分析仪半导体测试系统