4200A-SCS-PK3参数分析仪半导体测试系统主要性能指标

I-V 源测量单元(SMU)

• ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
• 100 fA测量分辨率
• 选配前端放大器提供了 10 aA测量分辨率
• 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
• 四象限操作
• 2 线或 4 线连接

C-V 多频率电容单元(CVU)

• AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
• 1 kHz - 10 MHz 频率范围
• ± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V 差分)
• 选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换脉冲式I-V 超快速脉冲测量单元(PMU)
• 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
• 200 MSa/s，5 ns 采样率
• ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
• 瞬态波形捕获模式
• 任意波形发生器 Segment ARB® 模式，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率

2450 是 1 1A 200V 10fA/10nV 20 W - US $5,930

2400 否 1 1A 200V 1pA / 100nV 20 W - US $5,990

2460 是 1 7A 100V 1pA / 100nV 100 W - US $8,970

2420 否 1 3A 60V 10pA / 100nV 60 W - US $9,440

2410 否 1 1A 1100V 1pA / 100nV 20 W - US $9,820

2461 是 1 10A 100V 1pA / 100nV 1000W - US $10,200

2440 No 1 5A 40V 10pA / 100nV 50 W - US $11,200

2601B 1 10A 40V 100fA / 100nV 200 W - US $8,310 US $4,510

2611B 1 10A 200V 100fA / 100nV 200 W - US $8,310 US $5,930

2604B 2 10A 40V 100fA / 100nV 200 W - US $10,500 US $5,990

• 4200A-SCS-PK3参数分析仪半导体测试系统